品質管理 - 川研產業有限公司

氣體的使用在半導體製程中扮演著非常重要的角色，所謂的半導體製程為晶圓的製造流程，其中的製程包括如氧化、離子佈植、蝕刻、薄膜沉積等皆使用到相當多的氣體，而氣體的純度則對元件性能、產品良率有著決定性的影響，氣體供應的安全性則關乎人員的健康與工廠運作的安全。因此在設備維修拆卸供氣管路、氣櫃鋼瓶更換、及製程腔體反應後之排放等之吹淨方式選擇就非常的重要。

深深體認優良的品質為企業永續經營的基礎。